Tulaga maualuga XY fa'atasi ma afi servo laina

Tala Fou

Tulaga maualuga XY fa'atasi ma afi servo laina

Fuafuaga fou o le XY stage e mafai ai ona fa'amalieina elemene taua e pei o le otogonality, sa'o, ma le fa'amafolafola, e maua ai se tulaga fa'atasi ai ma fa'afeagai fa'atetele fa'apitoa.Fa'atekonolosi tu'usa'o fa'atasi ai ma ta'avale servo laina 'autu e leai se fa'ama'i po'o se fa'afofoga, e mafai ai ona sa'o ma toe fa'afo'i gaioi fua nanometer i itu uma e lua X ma Y.

Tulaga maualuga XY fa'atasi ma afi servo laina

Le fa'afeso'ota'i fa'atekonolosi tuusa'o e ofoina atu le malosi, sa'o, ma le maualuga-saosaoa tulaga talafeagai mo le tele o gaosiga o masini sa'o.O nei XY laʻasaga e faʻaaogaina tekinolosi faʻatautaia tuusaʻo e ausia ai le maualuga maualuga o le faʻatulagaina o faʻatinoga.E fa'amautinoa le sa'o o le tu'uga i se fa'ailoga laina e le fa'afeso'ota'i.O le afi ma encoders e faʻapipiʻi saʻo e faʻaumatia ai tua.

O vaega e aofia ai

Tu'u sa'o afi laina

I'uga i le 0.1 microns

Toe fai i le 0.25 microns

Sa'o atoatoa i le 5 microns

Max saoasaoa 1.5 m/sec

Fa'asao tele 1.5G

Malaga faigaluega 300 x 300 mm

O le tu'ufa'atasiga o le ta'avale ma le fa'amomoli, fa'apipi'iina i se fa'ailoga la'ititi ma tulagavae, e tu'uina atu ai fa'amanuiaga fa'apitoa i le tele o fa'aoga e pei o le tu'u sa'o maualuga, fa'apipi'iina o le tisiki, fa'aogaina o fibre, fa'agaioia elemene tuai, su'ega fa'alogo, ma faiga su'esu'e e mana'omia ai le lamolemole ma sa'o le lafo.E mafai fo'i ona tu'ufa'atasia tulaga fa'atasi ma isi la'asaga tu'usa'o ma ta'amilo.


Taimi meli: Feb-05-2023